CVD

열화학 반응으로 기체를 고체로 합성하는 것을 CVD(Chemical Vapor Deposition)라 말하며 증착법에 따라 4가지로 분류됨

SOLAR CELL

Wafer제조공정의 완제품 품질 검사 및 태양전지 제조 공정의 Wafer입수 품질 검사에 사용되는 설비로 Wafer의 저항, 두께, 수명, 크기 등이나 이물질 또는 Micro crack에 대한 정보를 자동으로 검사하여 품질 정도에 따른 자동 분류를 하는 장비